采用脈沖高壓高頻等離子體電源和齒板放電裝置，使其產生高強度、高濃度、高電能的活性自由基，在毫秒級的時間內，瞬間對有害廢氣分子進行氧化還原反應，將廢氣中的大部分污染物降解成二氧化碳和水及易處理的物質。本工藝在電催化總的設計概念下，分三個即獨立又混成的激發系統：微波激發區、等離子激發區、極板激發區。每個激發區有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解。
低溫等離子廢氣凈化器的優勢
1）、高效除惡臭：能高效去除揮發性有機物（VOC）、無機物醇類等主要污染物。
（2）、無需添加任何物質：只需要設計相應的排風管道和排風動力，使惡臭氣體通過本設備進行脫臭分解凈化，無需添加任何物質參與反應。
（3）、適應性強：可適應高濃度，大氣量，不同惡臭氣體物質的脫臭凈化處理，運行穩定可靠。
（4）、運行成本低：本設備無任何機械動作，無噪音，無需專人管理和日常維護。
（5）、無需預處理：惡臭氣體無需進行特殊的預處理，如2加溫、加濕等，設備工作環境溫度在攝氏-30℃-95℃之間，濕度在40%-98%之間均可正常工作。
（6）、設備占地面積小，自重輕：適合于布置緊奏、場地窄小等特殊場所。
凈 化 方 法 :
等離子廢氣凈化器采用了獨特的吸附-分解-碳化 離心式抽風安裝最新工藝技術設計,采用標準模塊設計等優點,是一種干法處理有機廢氣的凈化設備。它改變了使用活性碳材料的工藝技術,無需再生處理原料,無需專人負責,不產生二次污染,更換及維護保養方便。
等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：
(1) 電場＋電子→高能電子
(2) 高能電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基團
(3) 活性基團＋分子(原子)→生成物+熱
(4) 活性基團＋活性基團→生成物+熱
低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。一般氣體放電，將會產生等離子，而這種放電現像就是通過某種機制使一個或者多個電子從氣體原理或分子中分離出來，形成氣體媒質，這種媒質就稱為電離氣體，如果外電場產生了電離氣體，傳導電流就形成了，這種現象就被稱為氣體放電。
